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            iH600愛德華干式泵維修

            更新時間:2023-07-03

            簡要描述:

            iH600愛德華干式泵維修
            iH1800 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
            A59040946
            技術數據
            峰值速度 1800 m3h-1
            1060 cfm

            • 產品型號:
            • 廠商性質:經銷商
            • 產品廠地:東莞市
            • 訪問次數:940
            品牌Edwards/英國愛德華輸送介質其他
            泵軸位置其他葉輪數目其他
            應用領域醫療衛生,化工,生物產業,能源,電子
            iH600愛德華干式泵維修
            iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
            A59020946
            技術數據
            峰值速度                 518 m3h-1
                                            305 cfm
                                            8635 l min-1
            極限真空                 2 x 10-3 mbar
                                            1.5 x 10-3 Torr
                                            0.2 Pa
            典型軸封氮流量                 4 slm
            進氣口連接                 ISO100
            出口連接                 NW40
            15 psi 壓降下典型冷卻水流量 240 l h-1
                                            4 l min-1
            重量                         415 kg
            極限功率輸入                3.1 kW
            電機額定功率            5.1 kW
            油容量                         1.43 l
             

            功能和優勢
            優化了設施消耗。
            無需預防性維護。
            懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
            在節省電機功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
            耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
            較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
            整體式軸桿無需使用電機聯結器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積

            概述
            Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時大程度地減小占地面積、降低運行成本,實現了高的可靠性和性能。
             
            iH 系列為難以執行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
            應用
            負載鎖
            輸送
            計量
            平版印刷
            PVD 制程
            PVD 預清潔
            RTA
            剝離/灰化
            刻蝕
            植入源
            HDP CVD
            RTP
            SACVD
            MCVD
            PECVD
            LPCVD
            ALD

             東莞市鴻鑫真空設備有限公司專業維修愛德華iH系列,iXL系列等干泵
            iH600愛德華干式泵維修

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